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硅片回收划伤线痕:包括了整条线痕和半截线痕,内部是凹陷的,且发亮,成都原生多晶硅回收,其宽度要比其它线痕更为狭窄。
硅片回收密布线痕:(1)硅片整面都密布着线痕;(2)硅片的出口端的一半都分布着线痕;(3)部分不规则的区域密布着线痕。
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